晨立卧式炉体 太阳能炉体 扩散炉炉体

炉体材料：
★炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。 
★绝缘子：采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。 
★保温棉：采用英国摩根公司生产的高温保温材料。 
★外壳：304不锈钢板卷制而成，连接处采用不锈钢拉铆钉连接。 
★热偶座：进口弹簧卡状固定座。 
★把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 
炉体参数：
★工作温度：≤1300℃ 
★恒温区长度：500mm-1000mm 
★炉体内径：Φ90～Φ360　mm（3～12英寸） 
★规范使用：寿命可达20个月以上（1200℃） 
★替代进口：全方位配套 

应用： 
   青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置，分为立式和卧式。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。